羅茨往復泵真空機組是由普通羅茨泵為主泵、滑閥真空泵為前級泵串聯組成的真空機組。通過真空繼電器或電接點壓力表，來實際羅茨泵滑閥泵的自動啟閉，自動過載保護。整套機組安裝在一個機架上，配以管道、閥門、電器操作控制箱、冷卻水管系統。機組結構緊湊，使用方便。
根據被抽真空系統的大小及極限壓力的不同，各泵之間的名義抽速之比在4：1至10：1之間，前者較后者適用于較大真空系統及長時間在低壓入口壓力或極限真空情況下工作。本系列機組為了防止滑閥泵停機時返油，在前級進口管道上安有電磁充氣閥，其動作與前級泵電動機實現聯動，當滑閥泵停泵時，向泵口充氣，確?；y泵內的真空油返回到油箱內，同時防止真空系統不受真空油污染。
羅茨往復泵真空機組是一種旋轉式變容真空泵，應用十分廣泛，因此如何維護及保養是非常重要的問題，一般來說維護事項包括以下幾類：
1.羅茨往復泵真空機組很熱，這是因為我們選擇了前級泵抽速不夠，造成壓縮比過大入口壓力過高，冷卻不良，齒輪箱潤滑油過高，轉子與泵殼接觸，齒輪、軸承、油封潤滑不良所造的。解決的辦法其實也不難，只要我們重新選用前級泵，調整，控制入口壓力，暢通冷卻，調整油量，修整，保證油量適當，潤滑良好；
2.在工作中運行不穩定、噪聲過大、效率低等等，這些問題其實其實就是和我們自己的保養中有關系的，首先工作不穩定，是因為電壓、組裝不得當等等的原因造成的。噪聲過大是因為安裝平穩或是潤滑不夠而造成的，因此不妨試著把機子潤滑一下；
3.有時管道通導能力不夠，前級泵抽速下降，溢流閥處漏氣，而導致抽速不足等等，決絕辦法就是增大管道通導能力，修理或更換前級泵，對溢流閥處進行清理。
4.不能單獨使用，必需配上前級泵組成機組，使用前級真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力，由于羅茨真空泵的緊縮比是有限的，所以選擇前級真空泵的抽速是相當重要的。
5.如長時間停止使用或在嚴寒季節，停車后排凈水沖泵箱體內存水，旋開水沖泵泵體排水堵頭將存水排凈，避免凍裂箱體、泵體，同樣羅茨真空泵需將泵體水套內的冷卻水放出避免凍裂。
